在山東省濟南市艾恩半導體科技有限公司，一臺離子注入機在剛剛啟用不久的潔凈廠房內整機組裝集成。接下來，它將經歷長達數月的驗證環節，這也是每一臺離子注入機必須面對的嚴苛挑戰。

　　在芯片制造過程中，離子注入是非常重要的環節?！秶壹呻娐樊a業發展推進綱要》明確提出，研發光刻機、刻蝕機、離子注入機等關鍵設備。作為多年從事這項研究的工程師、艾恩半導體總經理鐘新華帶著用最短時間突破關鍵技術瓶頸的愿景，帶領有近20年研發、產業化經驗的技術團隊，于2023年2月在廣州注冊成立一家半導體科技公司。

　　高風險、高不確定性、缺乏抵押物及營業收入，剛剛起步的科技型創業公司很難獲得貸款支持。而數以萬計的零部件采購耗資不菲，資金成為這家公司遇到的第一大難題，直到遇到了魯信創業投資集團股份有限公司（以下簡稱“魯信創投”）的投資團隊。

　　當鐘新華在介紹團隊的技術如何先進、離子注入機能為半導體產業帶來的助力時，魯信創投總經理葛效宏主動打斷了他，開始跟他討論離子注入機的未來市場前景以及市場營銷等。

　　鐘新華說：“此前見到的投資人，關注的都是多久能回購，公司多長時間能上市，只有他們跟我聊產品?！?/p>

　　記者在采訪中發現，對半導體行業的未來前景，魯信創投投資團隊如數家珍。魯信創投旗艦基金管理部副總經理徐霄龍說：“公司做過深入細致的行業調研，現在行業急需什么我們都很清楚?！?/p>

　　在投資界，像艾恩半導體這樣的早期創業企業被稱為“PPT公司”，沒有成熟的產品，只有想法和前景。在魯信創投看來，這類處于極早期階段的企業，最考驗投資機構的專業水平。徐霄龍說：“我們必須要比別人早看一步，提前看到它的未來價值?！?/p>

　　魯信創投深知第三代半導體產業的重要意義。近年來，魯信創投先后涉足芯片設計、襯底生產、晶圓制造、模塊封裝等第三代半導體全產業鏈，深知離子注入機是當前產業發展必不可少、亟待補齊的關鍵短板之一。

　　一個月后，由魯信創投聯合濟南財投基金集團、山東省新動能基金公司等組建的濟南魯信新動能天使創業投資合伙企業（有限合伙），出資參與艾恩半導體天使輪融資。當年9月，第二筆天使資金到位。

　　投資是一個長期的過程。葛效宏說：“我們投早、投小、投長期、投硬科技，還要做好投后管理?！濒斝艅撏秾Π靼雽w進行天使投資以后，便不僅僅是一名財務投資人。魯信創投花費大量時間與艾恩半導體一起，完善公司組織架構、搭建人才體系、規范企業制度、確定員工激勵平臺和分配方案等。

　　就在記者采訪的當天，魯信創投的工作人員還在艾恩半導體新廠區進行投后調研，確保廠區規劃布局與流程管理更加完善。葛效宏說：“我們深度參與被投資人的企業管理，與被投資人是親密合作關系。我們要把創業者變成優秀的企業家?！?/p>

　　在“真金白銀”的有力加持以及魯信創投全方位的孵化賦能下，鐘新華的技術團隊專注于離子注入機的研發與產業化，技術成果加速迭代，設備性能大幅攀升，新品上市喜訊頻傳……

　　2024年年中，艾恩半導體研發、擴產資金緊張，魯信創投旗下基金再次追投資金，并協助其在這一輪融資中對接更多大型投資機構、政府投融資平臺，成功與毅達資本、源禾資本、濟南財投基金集團、濟南高新區、山東產業技術研究院等達成股權合作?！斑@也為公司將總部遷至山東按下了啟動鍵?！辩娦氯A表示。

　　《山東省第三代半導體產業發展“十四五”規劃》提出，要引入高溫離子注入系統等關鍵工藝設備。魯信創投為艾恩半導體積極導入產業鏈上下游等各類資源，為其介紹山東第三代半導體產業規劃、惠企政策，并基于對宏觀經濟、行業發展的深入研究與敏銳把握，幫助企業謀劃重點研發方向和未來發展戰略。

　　鐘新華的團隊感受到了山東省對第三代半導體產業的重視和支持力度。他說：“離子注入機所需的近2萬個零部件，過半可以在山東配套，同時本地也存在廣泛的下游潛在客戶資源，所以我們把公司遷到了濟南?！?/p>

　　目前，艾恩半導體自主研發制造的第一代碳化硅離子注入機已走向市場，正接受芯片制造廠商的驗證。

　　如今，基于落地山東的種種利好，鐘新華對公司未來發展又有了新的規劃：三年內實現離子注入機所有機型全覆蓋，性能達到國際領先水平?！斑@不僅是山東發展第三代半導體產業的需要，也是支撐我國電子元器件制造工藝裝備發展的必經之路?！?/p>